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第二百八十二章 滴胶

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家光刻胶企业的研究员:“那是自然,别小看我们,由于不需要考虑光刻处理,咱们只需要带电的胶材料,这种要求可比光刻胶低了几个量级。”

当然,实际的研究中,这种胶材料并没有那么容易,但难度至少比光刻胶低很多,一番研究之后,522实验室就拿出了几款比较适合的滴胶材料。

老刘看着资料,顿时心里面有一种豪情万丈的感觉:“中微半导体的蚀刻机调试好了,现在万事俱备了,我们开始吧!”

“同意。”

“也好,是骡子是马,总要拉出来试一试。”

“我感觉成功率应该非常高。”

“你小子倒是有信心,如果成功了,大家都要名垂青史了。”

不一会。

他们来到了负责测试的523实验室。

随着滴胶印模板插入滴胶机中,滴胶室内的空气已经被抽空,替换成为不会和胶材料反应,也不会发生电离反应的高纯度惰性气体。

同时除尘设备也持续运行着,保持这个滴胶室内的高度洁净,避免灰尘被电离吸引,从而影响滴胶机的性能。

纯水清洗后的8寸硅片,经过干燥之后,被机器送入滴胶机之中。

滴胶机的模板也是圆形,还有一个刚刚好的卡槽,可以刚好可以和硅片对准,保证硅片和模板被完全固定,避免滴胶模印过程中,出现细微的移动。

一个研究员表情非常紧张,手掌心都在冒汗,他颤抖着手指,轻轻按在启动开关上。

滴!

通电之后的滴胶器,其滴胶模板将上面储存器的胶液吸入,通过电磁加速让带电胶液快速从上往下拉。

刹那间,一滴滴细微的纳米级胶滴,从模板下方滴落在硅片表面,这些胶滴很快就形成一个个滴点,而这些滴点彼此之间融合在一起,形成一道道纹路。

随即滴胶机断电,仅仅滴落一滴胶液,剩下的胶液被管道裹挟着,根本滴落不下去。

滴胶机离开硅片上方,紧接着光固化设备向硅片表面发射出特定的紫外线,对胶滴图案进行光固化。

叶瑾急不可耐地说道:“快,看看图案有没有问题。”

老刘摇了摇头:“叶博士别急呀!多做几片,到时候一起送检。”

“好吧!”

不到半个小时,滴胶室内就连续生产了几十片滴胶硅片。

负责测试滴胶图案的研究小组,也将一批批滴胶硅片送去实验室的检测。


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