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第522章 分辨率10μm

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越为止,还没完全拿下的,至少是高端的没拿下,光刻机就是其中一种。

他妈的,这辈子老子自己造一个玩玩,有几种光源我不知道,但是我知道这台能用,而且还挺好!

高振东自己也换上防护服,和几名试验人员走进了超净室。

试验人员早就把试验准备做好了,走进来之后,打开了几个开关,然后示意高振东:“高总,可以了。”

高振东拿起专用夹具,从带干燥剂的硅片架里,小心的夹起了一片单晶硅片,放到了工件台上,然后扳动开关,硅片被吸附固定。

这些单晶硅片已经经过清洗、干燥等处理,对光刻胶的附着力此时是最大的。

然后高振东退后一步,将接下来的试验交给了马娟。

要的就是一开始的那个爽感,至于具体操作,这些试验人员比他手脚麻利多了,专业的事情还是交给专业的人去做。

要说高振东这个光刻机原始,那是真的原始,固定好硅片后,马娟开动开关,硅片开始旋转。

这是高振东的设计,一步到位,光刻胶的涂布,他直接上了旋涂法,前世我们最早的光刻机是用什么方法涂布他不知道,但他知道综合性能肯定是旋涂法最好。

旋涂法在单晶硅片这种平坦的简单表面涂布,平坦化能力强,容易控制厚度,涂层密度大,厚度均匀,不是没有缺陷,但是可以接受和处理。

旋转很快达到了预设的转速,在涂料确定的情况下,涂层厚度这些涂布结果参数与转速高度相关,旋转的同时,工件台也在对硅片进行加热,这是为了进一步去除表面重新附着的水汽。

这些小细节,都是高振东从前世带过来的,不起眼,但是很重要。

加热时间满足预设要求之后,旋转也早已稳定,马娟拿起了滴管。

没错,就是化学试验用的那种滴管,一点儿都不高大上,但是对于高振东这个光刻机来说够用了。

滴管天生就有不太精确的计量功能,例如一毫升水大概是15滴,总之就是当液体的粘稠度确定的话,那从滴管滴出来的每滴液体的体积基本上是一致的,换支滴管也是一样,只要是正常的滴管都一样。

多余的光刻胶会被旋转的硅片给甩出去的,这也是旋涂的优点。

马娟往旋转的硅片中心滴了一些光刻胶,光刻胶很快随着旋转,沿着硅片表面匀开来,非常均匀,仿佛不存在一样。

这也是托光刻胶和硅片的粘附性很好的福,否则


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