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第一八二七章 犹豫不决

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从2001到2004年,尼康公司与ASET合作,制作出了小型EUV光刻实验工具HiNA3。

2004年6月17日,BSEC突然公开宣布,全球第一台65nm制程的浸没式光刻机TWINSCANNXT:2250i被研发成功!

2250i的问世不仅成为全球光刻机行业划时代的重要事件,也对全球半导体行业的发展承前启后。

BSEC首次成为全球光刻机行业发展的领导者!

尼康公司如梦初醒,急忙停止EUV的研究,集中全部力量研发65nm制程的干式光刻机NSR-S308F。

这些年,尼康公司在EUV光源和光学系统上投资了7亿多美元,虽然没有研发成功EUV光源发生器,但研发成功了157nm激光器,借助于ASET的资源,5个月不到就研发成功NSR-S308F,发现制程达不到65nm,又集中精力研发成功偏振照明系统Polano,弥补了157nm波长的缺陷;不到一年,全球第一台45nm制程的DSP-100干式光刻机横空出世。

厚积薄发!

尼康公司又夺回全球光刻机行业的老大位置!

日本经济产业大臣甘立明代表日本政府亲自到尼康公司祝贺,奖励2000万美元。

尼康公司管理层、技术团队和普通员工喜笑颜开,干劲十足。

日本半导体行业欢欣鼓舞,决定联合投资2350亿日元(20亿美元),在东京都千代田区建设全球第一条45nm制程工艺的半导体生产线。

------

“孙先生,BSEC什么时候能研发成功45nm制程的浸没式光刻机?”

6月5日,阿密特从日本打来电话,接到尼康公司的邀请,他代表Intel前往尼康公司查看DSP-100干式光刻机的性能,尼康公司希望Intel提前预定DSP-100,价格可以优惠。

在1994年GCA重回光刻机老大之前,Intel一直是尼康公司的最大客户。

Intel正在研发第一款四核处理器Core2Quad,即将开启四核时代的大门,这款CPU拥有582,000,000个晶体管,运行速度为3.4GHz,最大存储容量为32TB,采用45nm制程工艺。

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