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第二百五十八章 光刻机组装计划

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进行模拟了。”

从软件中找到了代表x光的选项,然后便开始设置x光的照射方向和角度,以及波长。

根据他之前的计算,能够更好地发挥衍射作用,x光的波长不能太小了,不然的话,波长太小的x光,穿透性能也更强,想要控制其衍射,就更难了。

所以,x光的波长应当为3.56nm。

而这是利用衍射效应,所以不能像euv光那样垂直照射,而是需要一个角度,也正是需要利用控制x光的入射角度,来控制x光的放大和缩小。

“唔,那就从30度入射角开始吧。”

输入了几个数据后,眼前的三维坐标系上便出现了一道代表了x光的粗虚线,这条粗虚线直直地照进了眼前的晶体结构当中,随后,x光便开始在其中开始了衍射的过程,粗的虚线在衍射的过程中,被分解为了几道虚线,然后又不断地在里面穿透,直到最后,穿透了这个晶体,最后形成了一个更大的照射面。

看到这一幕,林晓微微一笑。

不错,就和计算中的一样。

当入射角小于57.5度的时候,x光就能够被放大,而入射角大于这个角度的时候,x光就会被缩小。

这个放大和缩小并不是指将光线的波长放大和缩小,而是将x光束的辐照范围给放大和缩小,就像是在太阳光底下拿着放大镜聚焦或者扩散一样,这是一个道理。

通过这种方式,x光就拥有了规模生产的能力。

随后,他继续测试,通过调整晶体结构来改变入射角度,进而实现对x光的放大和缩小。

经过多次测试,已经可以毫无疑问地确定,这个晶体结构,达到了他所需要的程度。

那么,现在的问题就来了,要怎么生产出这样的晶体!

这个晶体的元素他早就已经选好了,仍然是硅。

硅的最外层电子数为4,这就意味着其可塑性十分强,虽然它做不到像碳那样,能够形成多种多样的同素异形体,但是通过工艺的设计,并非不能达到这样的程度,在凝聚态和材料学中,就有一个概念叫做无定形,无定形硅不存在晶体硅那样延展开的晶格结构,其原子间的晶格网络呈无序排列,利用这个原理,再根据特殊的工艺设计,就能够达到林晓想要的这个结构。

而至于为什么不选碳,则是因为碳原子太小,即使是选择10nm的x光,都可能轻松地穿过其合成的透镜,所以硅就成为了最合适的。

而就现


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