这不代表瑞星科技公司就可以松懈下来，因为阿斯麦公司现在正在包括南韩和鹰酱几家晶圆大厂的扶持下搞极紫外光刻机的研发试制呢。
其实极紫外光刻机的理论研究在十多年前就组建了一个技术联盟，这个联盟主要是英特尔联合鹰酱国内的几个国家实验室搞起来的，这个联盟里面的科学家发表了几百篇论文，验证了极紫外光刻机的可行性。
虽然这个技术联盟解散了，不过阿斯麦公司当年在收购鹰酱国内这家光刻机制造商硅谷集团后算是买到了一张进入鹰酱国内光刻机市场的门票，顺理成章地成为了半个鹰酱国内的公司，享受到鹰酱国内强劲的基础科学带来的巨大好处，这个也是为这家公司在开发极紫外光刻机上面得到了非常多的技术加持。
当然，鹰酱国内的外国投资委员会最终在收购协议上加了一堆条件，其中包括不许收购硅谷集团公司负责打磨镜片的子公司，并且保证各种技术和人才留在鹰酱的国内。
因为阿斯麦可以得到鹰酱国内最好的极紫外光刻机需要的最好光源和计算光刻等方面的应用服务，这个也使得阿斯麦在四年前就推出了极紫外光刻机的原型机，甚至比瑞星科技公司的深紫外光刻机原型机还要提前两年。
不过瑞星科技公司公司和阿斯麦在光源技术上选择是截然不同的，瑞星科技公司选择的光源是氮化镓半导体固态激光光源，而阿斯麦选用的是Cymer公司研制的离子束光源。
这种离子束光源主要是通过利用高功率的二氧化碳激光器以高频脉冲的方式轰击光源内的锡液滴靶丸产生极紫外光源辐射，反射光学系统直接将光射向需要刻蚀的硅晶圆。
这家公司在上世纪八十年代起就开始玩气体激光光源技术用在芯片生产上面，在这方面玩得非常溜。
不过华兴科技集团公司从一开始就开始玩半导体激光，一开始从激光读写头开始玩起，后来开始玩半导体激光光源波长最短的氮化镓激光光源，并且利用国内在非线性光学晶体材料上的绝对技术优势玩激光倍频技术。
其实国内在玩激光倍频技术上是世界领先的，很早就实现了激光六倍频技术，华兴科技集团公司利用这种激光倍频技术在实验室里面很早就研制出了波长只有6纳米的极紫外光光源。
只不过这种极紫外光光源破坏力实在是很大，瑞星科技公司公司也不可能直接使用这种光源，只能是等到三阳光学公司研制出可以长时间经受住极紫外光光源照射破坏的镀膜材料。
这种镀膜材
本章未完，请点击下一页继续阅读！