确认传动机构没有哪怕一丝的卡顿。
那支超高压汞灯被妥善地安置在光源箱里,配合着陈默拼死换来的曙光一号光刻胶,一切都显得那么完美。
一台充满了冰冷工业美感,又透着一股子原始狂野气息的初代光刻机,矗立在了车间中央。
组装完毕的那天,整个基地鸦雀无声。
曲令颐亲自穿上防尘服,将一片涂好光刻胶的硅片送入载物台。
她没有发表演讲,也没有多余的动作,只是平静地按下了启动按钮。
机器运转的声音极小,只有丝杠滑动时发出的极其轻微的“沙沙”声。
紫外光瞬间点亮,穿透掩膜版,经过光学系统的极致压缩,无声无息地在硅片上雕刻着人类肉眼无法看到的微观世界。
十分钟后,显影完成。
陆正阳第一个冲到高倍显微镜前,他的心跳快得几乎要从嗓子眼里蹦出来。
这台机器的机械结构是他设计的,他迫切地想看到0.6微米精度的传动,究竟能画出多美的线条。
他把眼睛凑到目镜上。
一秒。
两秒。
陆正阳的脸色突然变了,从原本的潮红瞬间变得煞白,像是一张死人脸。
他死死抓着显微镜的边缘,手背上的青筋一根根暴起。
“不可能……这不可能……”
他喃喃自语,声音里带着一种让人毛骨悚然的惊恐。
方为民一把将他推开,自己凑过去看。
只看了一眼,这位光学泰斗的身体就剧烈地晃动了一下,差点摔倒。
硅片上的图案,糊了。
不是光刻胶的问题,光刻胶的显影非常彻底。
也不是镜头的问题,焦距依然准确。
那是线条本身的重影。
原本应该笔直锋利的一微米线条,在显微镜下呈现出一种极其微小、极其规律的波浪状扭曲。
就像是有人在写字的时候,被人轻轻碰了一下胳膊。
重影的幅度不大,但对于微米级的电路来说,这就是毁灭性的灾难。
线条与线条之间发生了致命的粘连,整块硅片,彻底报废。
怎么会这样?
车间里的空气瞬间冻结了。
前一秒还在天堂,下一秒就被踹进了十八层地狱。
陆正阳像疯了一样,冲到机器面前,拿着仪器开始疯狂地检测各个部件。
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